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凤凰彩票中国官网入口 三菱化学苦求锡化合物及抗蚀剂溶液专利, 行为高性能的抗蚀剂材料

2026-06-14
国度学问产权局信息显现，三菱化学株式会社、盖列斯独有限公司苦求一项名为“锡化合物、锡组合物、它们的制造递次、抗蚀剂溶液、图案变成递次、薄膜、图案化的薄膜以及基板
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