国度学问产权局信息显现，三菱化学株式会社、盖列斯独有限公司苦求一项名为“锡化合物、锡组合物、它们的制造递次、抗蚀剂溶液、图案变成递次、薄膜、图案化的薄膜以及基板的制造递次”的专利，公开号CN122180693A，苦求日历为2024年8月。

专利摘要显现，通过平衡地具有溶化性、疏水性、抗蚀剂聪惠度等特点，行为高性能的抗蚀剂材料，提供下述锡化合物。一种锡化合物，其是具有锡原子、有机基团R以及氧配体和/或羟基配体的锡化合物，凤凰彩票(中国)官方网站其中，在上述锡化合物一个分子中包含两种以上上述有机基团R，而且包含Sn-O-Sn结构，上述有机基团R具有1～30个碳原子。

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